Mô tả chung
Đạt được độ chính xác quay cao nhất thế giới là 0.04 μm (loại cảm biến quay).
Tốc độ di chuyển cho mỗi trục tăng gấp ba lần.
Tính năng
- Độ chính xác độ thẳng cho mỗi trục được đảm bảo. Là phiên bản đầu bảng của các thiết bị loại cảm biến quay.
- Độ chính xác quay: 0.1 μm (JIS B7451)
- Độ chính xác thẳng cột: 1.3 μm/700mm (Khi sử dụng công cụ đo trục dài 700mm).
- Bộ lắp giữ không khí độ chính xác cao đầu tiên trong ngành cho các trục X, Y, Z và θ.
- Sử dụng đá Gabbro trong cột và đế, đảm bảo độ chính xác cao hàng đầu theo thời gian.
- Điều khiển 7 trục hoàn toàn tự động.
- Đảm bảo độ chính xác thẳng của bàn XY và trục R.
- Độ chính xác thẳng của bàn cho phép đánh giá độ song song giữa các lỗ trục của khối xi-lanh.
- Tốc độ di chuyển tối đa: 100mm/s, thời gian đo ngắn hơn cải thiện hiệu suất.
- Đo tự động hoàn toàn nhiều sản phẩm.
- Chức năng Gọi Chương trình Phụ tùng Tự động (tùy chọn).
- Thích ứng với khả năng tải trọng 1 tấn (tùy chọn).
- Thích ứng với hành trình trục Z 1500mm (tùy chọn).
Ví dụ về ứng dụng:
Thông số kỹ thuật
